半導体製造装置

名前のとおり半導体（集積回路）を製造するために、材料の加工から組み立て、検査までを行う装置のこと。

本来、半導体とは電気をよく通す導体と電気を通さない絶縁体の中間の性質（温度の変化により絶縁に近い性質から導体の性質に変化）を持つシリコンやゲルマニウムなどの物質のことを言うが、この半導体を用いたトランジスタや集積回路も慣用的に半導体と呼ばれている。