三次元測定機

プローブと呼ばれる先端が球体の検出器が被測定物の表面に接触してなぞるように移動しながら3次元座標を測定する接触式と、レーザー光を当てて被測定物をスキャンする非接触式の測定器がある。

測定器の精度や測定範囲の違いにより、半導体のような微細形状の測定から、車両のような大型な物体の形状計測まで、様々な分野で使用されている。
3D測定器、3次元デジタイザとも呼ぶ。